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一种晶圆快速热处理机台的监控方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911401776.3
申请日：
2019-12-31
公开(公告)号：
CN111106029B
公开(公告)日：
2020-05-05
发明(设计)人：
张二雄 黄泽军
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市南山区高新中一道2号长园新材料港8栋4楼
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
H01L21324 H01L21265
代理机构：
深圳众邦专利代理有限公司 44545
代理人：
张晓会
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-05-29 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20191231
2023-02-10 授权 授权
2020-05-05 公开 公开
共 50 条
[1]
快速热处理机台 [P]. 
陈荣哲 .
中国专利 :CN100378912C ,2007-04-04
[2]
一种晶片快速热处理机台 [P]. 
张二雄 ;
胡德明 ;
林伟旺 ;
徐家俊 ;
陈元满 .
中国专利 :CN103594392A ,2014-02-19
[3]
快速热处理机台的调机方法 [P]. 
范世炜 ;
张凌越 ;
国子明 ;
姚雷 .
中国专利 :CN107946204B ,2018-04-20
[4]
一种快速热处理机台的温度确定方法 [P]. 
李世韦 ;
欧阳文森 ;
李成龙 ;
王胜林 .
中国专利 :CN119400742B ,2025-03-07
[5]
一种快速热处理机台的温度确定方法 [P]. 
李世韦 ;
欧阳文森 ;
李成龙 ;
王胜林 .
中国专利 :CN119400742A ,2025-02-07
[6]
晶圆快速热处理设备 [P]. 
叶锦哲 ;
李旻璋 ;
李浩 .
中国专利 :CN309100072S ,2025-02-07
[7]
晶圆快速热处理主机 [P]. 
李旻璋 ;
叶锦哲 ;
李浩 .
中国专利 :CN309081047S ,2025-01-21
[8]
一种晶圆的快速热处理装置 [P]. 
廖宜专 ;
郑志成 ;
吴启明 .
中国专利 :CN217768311U ,2022-11-08
[9]
快速热处理机台滚珠的装卸工具 [P]. 
许鹖 .
中国专利 :CN201773824U ,2011-03-23
[10]
用于MASSON快速热处理机台的温度校准的方法 [P]. 
谭秀文 ;
雷声宏 .
中国专利 :CN105097421A ,2015-11-25
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