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一种快速热处理机台的温度确定方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510012675.6
申请日：
2025-01-06
公开(公告)号：
CN119400742A
公开(公告)日：
2025-02-07
发明(设计)人：
李世韦
欧阳文森
李成龙
王胜林
申请人：
粤芯半导体技术股份有限公司
申请人地址：
510700 广东省广州市黄埔区凤凰五路28号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/66
代理机构：
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人：
高燕
法律状态：
授权
国省代码：
广东省
广州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-07 | 授权 | 授权 |
| 2025-02-07 | 公开 | 公开 |
| 2025-02-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250106 |