快速热处理机台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510107197.X

申请日：

2005-09-28

公开(公告)号：

CN100378912C

公开(公告)日：

2007-04-04

发明(设计)人：

陈荣哲

申请人：

申请人地址：

台湾省新竹科学工业园区

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波;侯宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-05-30	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-04-04	公开	公开
2018-01-19	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/00 登记生效日:20171229 变更事项:专利权人变更前权利人:联华电子股份有限公司变更后权利人:福建省晋华集成电路有限公司变更事项:地址变更前权利人:中国台湾新竹科学工业园区变更后权利人:福建省泉州市晋江市集成电路科学园联华大道88号
2008-04-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶片快速热处理机台 [P].

张二雄 ;

胡德明 ;

林伟旺 ;

徐家俊 ;

陈元满 .

中国专利 :CN103594392A ,2014-02-19

[2]

快速热处理机台的调机方法 [P].

范世炜 ;

张凌越 ;

国子明 ;

姚雷 .

中国专利 :CN107946204B ,2018-04-20

[3]

快速热处理机台滚珠的装卸工具 [P].

许鹖 .

中国专利 :CN201773824U ,2011-03-23

[4]

用于MASSON快速热处理机台的温度校准的方法 [P].

谭秀文 ;

雷声宏 .

中国专利 :CN105097421A ,2015-11-25

[5]

一种快速热处理机台的温度确定方法 [P].

李世韦 ;

欧阳文森 ;

李成龙 ;

王胜林 .

中国专利 :CN119400742B ,2025-03-07

[6]

一种快速热处理机台的温度确定方法 [P].

李世韦 ;

欧阳文森 ;

李成龙 ;

王胜林 .

中国专利 :CN119400742A ,2025-02-07

[7]

一种晶圆快速热处理机台的监控方法 [P].

张二雄 ;

黄泽军 .

中国专利 :CN111106029B ,2020-05-05

[8]

一种快速热处理机台反射面板的清洁装置 [P].

许鹖 .

中国专利 :CN201997505U ,2011-10-05

[9]

一种用于MASSON快速热处理机台的温度校准的方法 [P].

谭秀文 ;

雷声宏 .

中国专利 :CN105097420A ,2015-11-25

[10]

快速热处理装置和快速热处理方法 [P].

文勇秀 ;

崔珷炳 ;

池尙炫 ;

朴栽成 .

韩国专利 :CN118676024A ,2024-09-20

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