用于MASSON快速热处理机台的温度校准的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410187492.X

申请日：

2014-05-05

公开(公告)号：

CN105097421A

公开(公告)日：

2015-11-25

发明(设计)人：

谭秀文雷声宏

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

汪洋;刘明霞

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-02	授权	授权
2015-12-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101638519716 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:201410187492X 申请日:20140505
2015-11-25	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于MASSON快速热处理机台的温度校准的方法 [P].

谭秀文 ;

雷声宏 .

中国专利 :CN105097420A ,2015-11-25

[2]

快速热处理机台 [P].

陈荣哲 .

中国专利 :CN100378912C ,2007-04-04

[3]

一种快速热处理机台的温度确定方法 [P].

李世韦 ;

欧阳文森 ;

李成龙 ;

王胜林 .

中国专利 :CN119400742B ,2025-03-07

[4]

一种快速热处理机台的温度确定方法 [P].

李世韦 ;

欧阳文森 ;

李成龙 ;

王胜林 .

中国专利 :CN119400742A ,2025-02-07

[5]

快速热处理机台的调机方法 [P].

范世炜 ;

张凌越 ;

国子明 ;

姚雷 .

中国专利 :CN107946204B ,2018-04-20

[6]

快速热处理机台滚珠的装卸工具 [P].

许鹖 .

中国专利 :CN201773824U ,2011-03-23

[7]

一种晶片快速热处理机台 [P].

张二雄 ;

胡德明 ;

林伟旺 ;

徐家俊 ;

陈元满 .

中国专利 :CN103594392A ,2014-02-19

[8]

一种晶圆快速热处理机台的监控方法 [P].

张二雄 ;

黄泽军 .

中国专利 :CN111106029B ,2020-05-05

[9]

快速热处理中控制晶片温度的方法及其快速热处理方法 [P].

阳厚国 ;

龚榜华 .

中国专利 :CN102820208A ,2012-12-12

[10]

低温快速热处理的温度监控方法 [P].

何永根 ;

禹国宾 ;

吴兵 ;

林静 .

中国专利 :CN102418149A ,2012-04-18

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