沉积镀膜设备

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专利类型
实用新型
申请号
CN201920490674.2
申请日
2019-04-12
公开(公告)号
CN209722295U
公开(公告)日
2019-12-03
发明(设计)人
周少波
申请人
申请人地址
上海市长宁区延安西路
IPC主分类号
C23C1450
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
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国省代码
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共 50 条
[1]
面板沉积镀膜设备 [P]. 
石林 .
中国专利 :CN216192677U ,2022-04-05
[2]
原子沉积镀膜设备 [P]. 
陈文翰 ;
乌磊 ;
刘磊 ;
李哲峰 .
中国专利 :CN216550694U ,2022-05-17
[3]
原子层沉积镀膜设备 [P]. 
陈文翰 ;
乌磊 ;
李哲峰 .
中国专利 :CN216404534U ,2022-04-29
[4]
原子层沉积镀膜设备 [P]. 
陈文翰 ;
李哲峰 .
中国专利 :CN216404533U ,2022-04-29
[5]
原子层沉积镀膜设备 [P]. 
莫姗 ;
秦志勇 ;
杨启忠 .
中国专利 :CN223373223U ,2025-09-23
[6]
原子沉积镀膜设备及其镀膜反应腔室 [P]. 
陈文翰 ;
刘磊 ;
李哲峰 .
中国专利 :CN216550695U ,2022-05-17
[7]
一种物理气相沉积镀膜设备 [P]. 
谢一 ;
吕伟 ;
于钦芳 ;
李静 .
中国专利 :CN223509955U ,2025-11-04
[8]
化学气相沉积镀膜设备布气装置 [P]. 
刘国利 ;
周毅 ;
李国强 .
中国专利 :CN210657127U ,2020-06-02
[9]
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田保峡 ;
闻益 ;
曲士座 .
中国专利 :CN209555354U ,2019-10-29
[10]
一种镀膜设备沉积腔室和镀膜设备 [P]. 
田保峡 ;
闻益 ;
曲士座 .
中国专利 :CN209555353U ,2019-10-29