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一种晶圆表面三维形貌测量装置及其测量方法

被引：0
申请号：
CN202211239997.7
申请日：
2022-10-11
公开(公告)号：
CN115325963A
公开(公告)日：
2022-11-11
发明(设计)人：
张效栋 朱琳琳 焦凡苇 程威盛 吴宣宗 刘现磊
申请人：
申请人地址：
300458 天津市滨海新区高新区滨海科技园日新道188号1号楼1126号
IPC主分类号：
G01B1125
IPC分类号：
代理机构：
北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246
代理人：
张海洋
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-11-29 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/25 申请日:20221011
2022-11-11 公开 公开
2023-01-13 授权 授权
共 50 条
[1]
一种晶圆表面三维形貌高速测量方法及装置 [P]. 
张效栋 ;
朱琳琳 ;
程威盛 ;
刘现磊 .
中国专利 :CN115493523A ,2022-12-20
[2]
一种晶圆三维表面形貌测量方法 [P]. 
宋金龙 ;
黄家璇 ;
张庆久 ;
朱建国 .
中国专利 :CN120506904A ,2025-08-19
[3]
一种晶圆表面三维形貌测量装置 [P]. 
吕晓明 ;
魏泊岩 .
中国专利 :CN222505326U ,2025-02-18
[4]
一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置 [P]. 
叶瑞芳 ;
苏毓杰 ;
程方 ;
崔长彩 .
中国专利 :CN112857253B ,2024-07-23
[5]
一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置 [P]. 
叶瑞芳 ;
苏毓杰 ;
程方 ;
崔长彩 .
中国专利 :CN112857253A ,2021-05-28
[6]
一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置 [P]. 
叶瑞芳 ;
苏毓杰 ;
程方 ;
崔长彩 .
中国专利 :CN214200005U ,2021-09-14
[7]
一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置 [P]. 
俞智勇 ;
陈洪立 ;
杨亮亮 ;
梁少敏 .
中国专利 :CN216846194U ,2022-06-28
[8]
三维形貌的测量方法及测量装置 [P]. 
黄鑫 .
中国专利 :CN112212815B ,2025-04-04
[9]
三维形貌的测量方法及测量装置 [P]. 
黄鑫 .
中国专利 :CN112212815A ,2021-01-12
[10]
岩石表面三维形貌的测量方法 [P]. 
夏才初 ;
王伟 ;
丁增志 ;
汤渊 ;
刘远明 ;
顾翠莲 ;
汪谋 ;
曹诗定 .
中国专利 :CN101033950A ,2007-09-12
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