一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120191637.9

申请日：

2021-01-22

公开(公告)号：

CN214200005U

公开(公告)日：

2021-09-14

发明(设计)人：

叶瑞芳苏毓杰程方崔长彩

申请人：

申请人地址：

361000 福建省泉州市城华北路269号

IPC主分类号：

G01B1124

IPC分类号：

G01N2145

代理机构：

厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222

代理人：

陈晓思

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置 [P].

叶瑞芳 ;

苏毓杰 ;

程方 ;

崔长彩 .

中国专利 :CN112857253B ,2024-07-23

[2]

一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置 [P].

叶瑞芳 ;

苏毓杰 ;

程方 ;

崔长彩 .

中国专利 :CN112857253A ,2021-05-28

[3]

一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置 [P].

俞智勇 ;

陈洪立 ;

杨亮亮 ;

梁少敏 .

中国专利 :CN216846194U ,2022-06-28

[4]

一种晶圆表面三维形貌测量装置及其测量方法 [P].

张效栋 ;

朱琳琳 ;

焦凡苇 ;

程威盛 ;

吴宣宗 ;

刘现磊 .

中国专利 :CN115325963A ,2022-11-11

[5]

一种晶圆表面三维形貌测量装置 [P].

吕晓明 ;

魏泊岩 .

中国专利 :CN222505326U ,2025-02-18

[6]

一种晶圆三维表面形貌测量方法 [P].

宋金龙 ;

黄家璇 ;

张庆久 ;

朱建国 .

中国专利 :CN120506904A ,2025-08-19

[7]

一种晶圆表面三维形貌高速测量方法及装置 [P].

张效栋 ;

朱琳琳 ;

程威盛 ;

刘现磊 .

中国专利 :CN115493523A ,2022-12-20

[8]

大尺寸岩石表面三维形貌的测量方法 [P].

夏才初 ;

王伟 ;

丁增志 ;

汤渊 ;

龚建伍 ;

林强强 ;

王隽 .

中国专利 :CN101038158A ,2007-09-19

[9]

任意表面三维形貌测量系统 [P].

马少鹏 ;

刘程林 ;

马沁巍 ;

曾祥福 .

中国专利 :CN102538708A ,2012-07-04

[10]

大尺寸晶圆形貌测量装置 [P].

陈鲁 ;

孙晶露 ;

马砚忠 .

中国专利 :CN119803272A ,2025-04-11

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