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大尺寸晶圆形貌测量装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411997566.6
申请日：
2024-12-31
公开(公告)号：
CN119803272A
公开(公告)日：
2025-04-11
发明(设计)人：
陈鲁 孙晶露 马砚忠
申请人：
深圳中科飞测科技股份有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号101、102
IPC主分类号：
G01B9/02015
IPC分类号：
H01L21/66 G01B9/02055 G01B11/24
代理机构：
深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316
代理人：
张桂平
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
广东省 深圳市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-04-29 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01B 9/02015申请日:20241231
2025-04-11 公开 公开
共 50 条
[1]
大尺寸晶圆形貌测量装置及测量方法 [P]. 
孙晶露 ;
马砚忠 ;
袁明波 ;
郁健 ;
陈鲁 .
中国专利 :CN119833421A ,2025-04-15
[2]
大尺寸晶圆形貌测量装置及测量方法 [P]. 
孙晶露 ;
马砚忠 ;
袁明波 ;
郁健 ;
陈鲁 .
中国专利 :CN119833421B ,2025-11-21
[3]
一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置 [P]. 
叶瑞芳 ;
苏毓杰 ;
程方 ;
崔长彩 .
中国专利 :CN112857253B ,2024-07-23
[4]
一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置 [P]. 
叶瑞芳 ;
苏毓杰 ;
程方 ;
崔长彩 .
中国专利 :CN112857253A ,2021-05-28
[5]
一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置 [P]. 
叶瑞芳 ;
苏毓杰 ;
程方 ;
崔长彩 .
中国专利 :CN214200005U ,2021-09-14
[6]
一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置 [P]. 
俞智勇 ;
陈洪立 ;
杨亮亮 ;
梁少敏 .
中国专利 :CN216846194U ,2022-06-28
[7]
大尺寸测量装置 [P]. 
王珉 ;
李舒 ;
郝亮 ;
沈沂 .
中国专利 :CN304157079S ,2017-06-06
[8]
大尺寸工件外径测量装置 [P]. 
黄郑平 ;
何雨浓 .
中国专利 :CN212253932U ,2020-12-29
[9]
大尺寸电池厚度测量装置 [P]. 
单旭 ;
谷传辉 ;
国友群 .
中国专利 :CN216668519U ,2022-06-03
[10]
碳纤维大尺寸内径测量装置 [P]. 
姜兵 .
中国专利 :CN214702065U ,2021-11-12
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