大尺寸晶圆形貌测量装置及测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411783604.8

申请日：

2024-12-05

公开(公告)号：

CN119833421B

公开(公告)日：

2025-11-21

发明(设计)人：

孙晶露马砚忠袁明波郁健陈鲁

申请人：

深圳中科飞测科技股份有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号101、102

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

G01B11/16

代理机构：

深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316

代理人：

张桂平

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-21	授权	授权
2025-05-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20241205
2025-04-15	公开	公开

共 50 条

[1]

大尺寸晶圆形貌测量装置及测量方法 [P].

孙晶露 ;

马砚忠 ;

袁明波 ;

郁健 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN119833421A ,2025-04-15

[2]

大尺寸晶圆形貌测量装置 [P].

陈鲁 ;

孙晶露 ;

马砚忠 .

中国专利 :CN119803272A ,2025-04-11

[3]

晶圆形貌测量方法及设备 [P].

朱亮 ;

王悦 ;

陈淑楠 ;

余金辉 ;

王淼操 .

中国专利 :CN118225019A ,2024-06-21

[4]

晶圆形貌测量方法及设备 [P].

朱亮 ;

王悦 ;

陈淑楠 ;

余金辉 ;

王淼操 .

中国专利 :CN118274759A ,2024-07-02

[5]

形貌测量设备、形貌测量装置及测量方法 [P].

马勋亮 .

中国专利 :CN118089582A ,2024-05-28

[6]

形貌测量方法及其测量装置 [P].

张宏彰 ;

林耀明 .

中国专利 :CN1952594B ,2007-04-25

[7]

面向大尺寸测量的相机系统及测量方法 [P].

王文韫 ;

陈安华 ;

蒋勉 .

中国专利 :CN109405737B ,2019-03-01

[8]

工件表面形貌精密测量装置及测量方法 [P].

戴强 ;

徐彦德 .

中国专利 :CN101403608A ,2009-04-08

[9]

多晶薄膜形貌的测量方法及测量装置 [P].

何小川 ;

翁羽翔 .

中国专利 :CN104729425A ,2015-06-24

[10]

物体尺寸的测量装置及测量方法 [P].

吴忠江 ;

黄金 ;

龙洪 .

中国专利 :CN109631770A ,2019-04-16

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