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一种大尺寸衬底抛光用白垫及其生产工艺

被引：0
申请号：
CN202210553914.5
申请日：
2022-05-20
公开(公告)号：
CN114918823A
公开(公告)日：
2022-08-19
发明(设计)人：
李加海 杨慧明 李元祥
申请人：
申请人地址：
238200 安徽省马鞍山市和县经济开发区姥下河东路标准化厂房1号厂房
IPC主分类号：
B24B3711
IPC分类号：
B24D300 B24D1800
代理机构：
北京和联顺知识产权代理有限公司 11621
代理人：
朱守鑫
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-09-06 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/11 申请日:20220520
2022-08-19 公开 公开
共 50 条
[1]
一种半导体抛光用白垫及其生产工艺 [P]. 
李加海 ;
杨惠明 ;
李元祥 .
中国专利 :CN117020933B ,2025-10-31
[2]
一种硅晶片抛光用多孔吸水CMP抛光垫及其生产工艺 [P]. 
李加海 ;
杨惠明 ;
孙传东 .
中国专利 :CN118682657A ,2024-09-24
[3]
一种显示屏抛光用高拉伸性白垫及其生产工艺 [P]. 
李加海 ;
杨惠明 ;
李元祥 .
中国专利 :CN116787345B ,2025-07-15
[4]
一种用于光学元件抛光用高弹性白垫及其生产工艺 [P]. 
李加海 ;
杨惠明 ;
李元祥 .
中国专利 :CN116984990B ,2025-09-02
[5]
一种用于硅衬底抛光的抛光垫及其生产工艺 [P]. 
雷龙金 .
中国专利 :CN120155875A ,2025-06-17
[6]
一种玻璃抛光用防水型单面毡绒抛光垫及其生产工艺 [P]. 
李加海 ;
杨惠明 ;
孙传东 .
中国专利 :CN116810668B ,2025-07-25
[7]
一种超白抛光瓷砖及其生产工艺 [P]. 
蒋文献 .
中国专利 :CN103848617A ,2014-06-11
[8]
大尺寸视窗保护组件及其生产工艺 [P]. 
贾军虎 ;
何荣 ;
左维新 .
中国专利 :CN120783636A ,2025-10-14
[9]
一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺 [P]. 
李加海 ;
杨慧明 ;
李元祥 .
中国专利 :CN115008342A ,2022-09-06
[10]
一种高移除率的光学元件抛光白垫及其生产工艺 [P]. 
李加海 ;
杨惠明 ;
孙传东 .
中国专利 :CN118528122B ,2025-10-17
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