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一种用于化学气相沉积的晶圆传输装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021645322.9
申请日：
2020-08-10
公开(公告)号：
CN212695131U
公开(公告)日：
2021-03-12
发明(设计)人：
王宜
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市滨湖区高运路109号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
南京常青藤知识产权代理有限公司 32286
代理人：
史慧敏
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-12 | 授权 | 授权 |