共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
用于化学气相沉积的晶圆传输装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201310258962.2
申请日：
2013-06-26
公开(公告)号：
CN104253075A
公开(公告)日：
2014-12-31
发明(设计)人：
罗杰
高峰
张小龙
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249
代理人：
张静洁;徐雯琼
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-12-31 | 公开 | 公开 |
| 2015-01-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101596398344 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2013102589622 申请日:20130626 |
| 2018-05-15 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/677 申请公布日:20141231 |