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晶圆旋转装置及化学气相沉积设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111427199.2
申请日：
2021-11-28
公开(公告)号：
CN114141684B
公开(公告)日：
2024-11-12
发明(设计)人：
王会会
刘洋
金補哲
申请人：
盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请人地址：
315100 浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/687
C23C16/458
C23C16/52
代理机构：
上海老虎专利代理事务所(普通合伙) 31434
代理人：
葛瑛
法律状态：
授权
国省代码：
浙江省
宁波市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-12 | 授权 | 授权 |