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一种芯片内部缺陷检测方法及系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910336438.X
申请日：
2019-04-25
公开(公告)号：
CN110133014B
公开(公告)日：
2019-08-16
发明(设计)人：
王星泽
倪一帆
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市南山区粤海街道海天一路19号深圳市软件产业基地4栋A座1102
IPC主分类号：
G01N23046
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-08-16 | 公开 | 公开 |
| 2019-09-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 23/046 申请日:20190425 |
| 2022-07-05 | 授权 | 授权 |