一种硅微谐振式加速度计温度补偿方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310429703.1
申请日
2013-09-18
公开(公告)号
CN103472259B
公开(公告)日
2015-04-29
发明(设计)人
赵立业 杨辉 黄丽斌 李宏生
申请人
申请人地址
211189 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
IPC主分类号
G01P15097
IPC分类号
代理机构
南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249
代理人
杨晓玲
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
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[2]
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[3]
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[4]
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范书聪 ;
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[5]
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[8]
硅微谐振式加速度计 [P]. 
董景新 ;
赵淑明 ;
刘云峰 .
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[9]
硅微谐振式加速度计 [P]. 
裘安萍 ;
施芹 ;
苏岩 .
中国专利 :CN101266259A ,2008-09-17
[10]
硅微谐振式加速度计 [P]. 
裘安萍 ;
施芹 ;
苏岩 .
中国专利 :CN201796049U ,2011-04-13