低污染抛光组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910004747.3

申请日：

2009-02-20

公开(公告)号：

CN101525522A

公开(公告)日：

2009-09-09

发明(设计)人：

T·M·托马斯王红雨

申请人：

申请人地址：

美国特拉华州

IPC主分类号：

C09G116

IPC分类号：

H01L21304 B24B2900 B24B3704

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

沙永生

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效
2012-08-29	授权	授权
2009-09-09	公开	公开

共 50 条

[1]

无磨料的化学机械抛光组合物 [P].

王红雨 ;

S·A·伊比特森 ;

T·高希 ;

M·R·温克勒 .

中国专利 :CN102031065A ,2011-04-27

[2]

稳定的、可浓缩的化学机械抛光组合物及其涉及的方法 [P].

H·拉克奥特 ;

石进杰 ;

J·莱蒂齐亚 ;

X·李 ;

T·H·卡兰塔尔 ;

F·凯勒 ;

J·K·哈里斯 ;

C·J·塔克 .

中国专利 :CN102702979A ,2012-10-03

[3]

抛光组合物 [P].

徐浩峰 ;

J·匡希 .

中国专利 :CN1635940A ,2005-07-06

[4]

稳定的、可浓缩并且无水溶性纤维素的化学机械抛光组合物 [P].

H·拉克奥特 ;

石进杰 ;

J·莱蒂齐亚 ;

X·李 ;

T·H·卡兰塔尔 ;

F·凯勒 ;

J·K·哈里斯 ;

C·J·塔克 .

中国专利 :CN102690609A ,2012-09-26

[5]

不含磨料的化学机械抛光组合物及相关方法 [P].

T·高希 ;

R·D·所罗门 ;

王红雨 .

中国专利 :CN100362068C ,2006-06-07

[6]

化学机械抛光组合物及有关的方法 [P].

F·J·凯勒 ;

J·匡西 ;

J·K·索 ;

王红雨 .

中国专利 :CN1715311A ,2006-01-04

[7]

化学机械抛光组合物及有关的方法 [P].

F·J·凯勒 ;

J·匡西 ;

J·K·索 ;

王红雨 .

中国专利 :CN1715310A ,2006-01-04

[8]

抛光组合物以及使用该抛光组合物的抛光方法 [P].

高见信一郎 .

中国专利 :CN1760307B ,2006-04-19

[9]

低污染型光刻胶组合物 [P].

曹成波 ;

沈新春 ;

万茂生 ;

周晨 ;

陈锦钊 .

中国专利 :CN102279525A ,2011-12-14

[10]

抛光组合物 [P].

詹姆斯·麦克多诺 .

中国专利 :CN112760041B ,2021-05-07

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