一种柔性输送装置及使用该装置的真空镀膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610145988.6

申请日：

2006-11-30

公开(公告)号：

CN1970830B

公开(公告)日：

2007-05-30

发明(设计)人：

刘阳

申请人：

申请人地址：

100070 北京市丰台区科学城邮局4分箱

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

代理机构：

北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279

代理人：

丛芳;彭晓玲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-07-25	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-11-17	授权	授权
2007-05-30	公开	公开

共 50 条

[1]

一种柔性输送装置 [P].

刘阳 .

中国专利 :CN201033801Y ,2008-03-12

[2]

基板输送装置及真空镀膜设备 [P].

汪晨洁 ;

余海春 ;

杨启忠 ;

戴晓东 .

中国专利 :CN118618809A ,2024-09-10

[3]

一种柔性基材的真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

尤俊衡 ;

艾其波 .

中国专利 :CN120625009A ,2025-09-12

[4]

一种真空镀膜设备的滚轮结构及输送装置 [P].

孙健 ;

杨艳红 ;

董文康 ;

徐文涛 ;

孟辉 .

中国专利 :CN222648081U ,2025-03-21

[5]

一种柔性基材的真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

尤俊衡 ;

艾其波 .

中国专利 :CN120625009B ,2025-10-17

[6]

连续式真空镀膜设备输送装置 [P].

黄能杰 .

中国专利 :CN202465857U ,2012-10-03

[7]

一种光学真空镀膜设备用输送装置 [P].

朱雪峰 ;

张华君 ;

王靖清 .

中国专利 :CN218059186U ,2022-12-16

[8]

用于真空镀膜的加热装置及真空镀膜设备 [P].

杨恺 ;

林海天 ;

岑红师 ;

李立升 .

中国专利 :CN220520599U ,2024-02-23

[9]

蒸发装置、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

黄永长 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194365A ,2024-12-27

[10]

真空装置及真空镀膜设备 [P].

李王俊 ;

陈晨 .

中国专利 :CN111304594A ,2020-06-19

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