光致抗蚀剂组合物及图案形成方法

被引：0

申请号：

CN202111513464.9

申请日：

2021-12-10

公开(公告)号：

CN114690552A

公开(公告)日：

2022-07-01

发明(设计)人：

J·凯茨 B·马尔布雷希特王德岩 M·H·小霍华德

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

乐洪咏;陈哲锋

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-01	公开	公开
2022-07-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20211210

共 50 条

[1]

光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

T·卡多拉西亚 ;

J·A·迪西斯托 ;

李忠奉 ;

李明琦 ;

T·马兰戈尼 ;

C·吴 ;

刘聪 ;

G·P·普罗科普威克 .

中国专利 :CN114063385A ,2022-02-18

[2]

光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

E·阿卡德 ;

B·温宁 ;

C-B·李 ;

J·W·萨克莱 ;

K·杨 ;

J·F·卡梅伦 .

美国专利 :CN119225117A ,2024-12-31

[3]

光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

羽贺满 ;

贝沼邦雄 ;

串田修学 .

中国专利 :CN112666793A ,2021-04-16

[4]

光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

侯希森 ;

李明琦 ;

J·凯茨 ;

T·马兰戈尼 ;

P·特雷夫纳斯三世 .

中国专利 :CN114442427A ,2022-05-06

[5]

光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

K·杨 ;

E·阿卡德 ;

J·F·卡梅伦 ;

S·M·科莱 ;

M·哥斯瓦米 ;

李忠奉 ;

B·波普尔 ;

J·W·萨克莱 ;

B·温宁 .

中国专利 :CN114253071A ,2022-03-29

[6]

光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

羽贺满 ;

贝沼邦雄 ;

串田修学 .

美国专利 :CN112666793B ,2025-01-07

[7]

光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

E·阿卡德 ;

B·温宁 ;

C-B·李 ;

J·W·萨克莱 ;

K·杨 ;

J·F·卡梅伦 .

中国专利 :CN113946097A ,2022-01-18

[8]

光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

羽贺满 ;

李明琦 .

中国专利 :CN114690557A ,2022-07-01

[9]

光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

T·卡多拉西亚 ;

J·A·迪西斯托 ;

李忠奉 ;

李明琦 ;

T·马兰戈尼 ;

C·吴 ;

刘聪 ;

G·P·普罗科普威克 .

美国专利 :CN114063385B ,2025-08-15

[10]

光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

T·马兰戈尼 ;

E·阿卡德 ;

J·W·萨克莱 ;

J·F·卡梅伦 ;

侯希森 ;

李忠奉 .

美国专利 :CN114442426B ,2025-08-19

← 1 2 3 4 5 →