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光致抗蚀剂组合物及图案形成方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411394518.8
申请日：
2021-07-09
公开(公告)号：
CN119225117A
公开(公告)日：
2024-12-31
发明(设计)人：
E·阿卡德 B·温宁 C-B·李 J·W·萨克莱 K·杨 J·F·卡梅伦
申请人：
罗门哈斯电子材料有限责任公司
申请人地址：
美国马萨诸塞州
IPC主分类号：
G03F7/004
IPC分类号：
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
陈哲锋;乐洪咏
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-12-31 公开 公开
2025-01-17 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/004申请日:20210709
共 50 条
[1]
光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P]. 
K·杨 ;
E·阿卡德 ;
J·F·卡梅伦 ;
S·M·科莱 ;
M·哥斯瓦米 ;
李忠奉 ;
B·波普尔 ;
J·W·萨克莱 ;
B·温宁 .
中国专利 :CN114253071A ,2022-03-29
[2]
光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P]. 
E·阿卡德 ;
B·温宁 ;
C-B·李 ;
J·W·萨克莱 ;
K·杨 ;
J·F·卡梅伦 .
中国专利 :CN113946097A ,2022-01-18
[3]
光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P]. 
T·卡多拉西亚 ;
J·A·迪西斯托 ;
李忠奉 ;
李明琦 ;
T·马兰戈尼 ;
C·吴 ;
刘聪 ;
G·P·普罗科普威克 .
中国专利 :CN114063385A ,2022-02-18
[4]
光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P]. 
羽贺满 ;
贝沼邦雄 ;
串田修学 .
中国专利 :CN112666793A ,2021-04-16
[5]
光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P]. 
侯希森 ;
李明琦 ;
J·凯茨 ;
T·马兰戈尼 ;
P·特雷夫纳斯三世 .
中国专利 :CN114442427A ,2022-05-06
[6]
光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P]. 
羽贺满 ;
贝沼邦雄 ;
串田修学 .
美国专利 :CN112666793B ,2025-01-07
[7]
光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P]. 
羽贺满 ;
李明琦 .
中国专利 :CN114690557A ,2022-07-01
[8]
光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P]. 
J·凯茨 ;
B·马尔布雷希特 ;
王德岩 ;
M·H·小霍华德 .
中国专利 :CN114690552A ,2022-07-01
[9]
光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P]. 
T·卡多拉西亚 ;
J·A·迪西斯托 ;
李忠奉 ;
李明琦 ;
T·马兰戈尼 ;
C·吴 ;
刘聪 ;
G·P·普罗科普威克 .
美国专利 :CN114063385B ,2025-08-15
[10]
光致抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P]. 
T·马兰戈尼 ;
E·阿卡德 ;
J·W·萨克莱 ;
J·F·卡梅伦 ;
侯希森 ;
李忠奉 .
美国专利 :CN114442426B ,2025-08-19
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