用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710101282.8

申请日：

2017-02-24

公开(公告)号：

CN106637091B

公开(公告)日：

2017-05-10

发明(设计)人：

张卫卫王孟孟朱家宽刘杰鹏高锦龙

申请人：

申请人地址：

314031 浙江省嘉兴市秀洲工业园区康和路嘉兴光伏科创园6#楼底楼东侧

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1406 H01L3118 F27B1700

代理机构：

北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350

代理人：

林燕辉

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-10	公开	公开
2017-06-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101724564699 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2017101012828 申请日:20170224
2019-08-30	授权	授权

共 50 条

[21]

薄膜太阳能电池的制造方法 [P].

陈金元 ;

马哲国 ;

董家伟 .

中国专利 :CN102064236B ,2011-05-18

[22]

薄膜太阳能电池的制造方法 [P].

许修齐 ;

戴怡文 .

中国专利 :CN102403396A ,2012-04-04

[23]

薄膜太阳能电池的制造方法 [P].

侯惟仁 ;

李升翰 ;

王智正 .

中国专利 :CN105990467A ,2016-10-05

[24]

薄膜太阳能电池结构、薄膜太阳能电池阵列及其制造方法 [P].

朱慧珑 ;

骆志炯 ;

尹海洲 .

中国专利 :CN102122679B ,2011-07-13

[25]

薄膜太阳能电池的制造方法 [P].

李沅民 ;

林朝晖 ;

杨与胜 .

中国专利 :CN101626049A ,2010-01-13

[26]

制造薄膜太阳能电池的方法 [P].

金泰润 ;

朴元绪 ;

李正禹 ;

朴成基 ;

沈敬珍 .

中国专利 :CN101794838A ,2010-08-04

[27]

制造薄膜太阳能电池的方法 [P].

李辉宰 ;

金钟一 ;

柳泰京 .

中国专利 :CN102290485A ,2011-12-21

[28]

用于制造薄膜太阳能电池的划线方法 [P].

林信志 ;

谢天宏 .

中国专利 :CN103066149A ,2013-04-24

[29]

用于制造薄膜太阳能电池模块的装置 [P].

U·瓦格纳 ;

S·阿克 .

中国专利 :CN101877370B ,2010-11-03

[30]

用于制造集成薄膜太阳能电池的设备 [P].

林宏树 ;

全振完 ;

洪玧昊 .

中国专利 :CN106165121A ,2016-11-23

← 1 2 3 4 5 →