半导体装置和半导体装置的制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN201780032407.4
申请日
2017-09-15
公开(公告)号
CN109314139B
公开(公告)日
2019-02-05
发明(设计)人
宫田大嗣 野口晴司 吉田崇一 田边広光 河野宪司 大仓康嗣
申请人
申请人地址
日本神奈川县川崎市
IPC主分类号
H01L2978
IPC分类号
H01L2128 H01L21322 H01L21329 H01L21336 H01L2941 H01L29739 H01L29861 H01L29868
代理机构
北京铭硕知识产权代理有限公司 11286
代理人
金玉兰;王颖
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
半导体装置的制造方法 [P]. 
宫腰宣树 .
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半导体装置的制造方法和半导体装置 [P]. 
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[5]
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[7]
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[10]
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