一种针对气体传感的CMUT及制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910223773.9

申请日：

2019-03-22

公开(公告)号：

CN110057907B

公开(公告)日：

2019-07-26

发明(设计)人：

张慧于露梁冬梅

申请人：

申请人地址：

300072 天津市南开区卫津路92号

IPC主分类号：

G01N2902

IPC分类号：

G01N29036

代理机构：

天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201

代理人：

李林娟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-23	授权	授权
2019-07-26	公开	公开
2019-08-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 29/02 申请日:20190322

共 50 条

[1]

一种基于CMUT的生化传感器及其制备方法 [P].

赵立波 ;

李支康 ;

蒋庄德 ;

张桂铭 ;

黄恩泽 ;

郭鑫 ;

赵玉龙 .

中国专利 :CN102520032B ,2012-06-27

[2]

一种CMUT芯片及其加工方法、CMUT [P].

宋金龙 ;

郑欣怡 ;

周六辉 .

中国专利 :CN114505213A ,2022-05-17

[3]

基于CMUT的海洋生化物质监测传感器及其制备与测量方法 [P].

赵立波 ;

李支康 ;

蒋庄德 ;

叶志英 ;

赵玉龙 ;

王苑 ;

王久洪 .

中国专利 :CN103454345A ,2013-12-18

[4]

一种高温CMUT压力传感器及其制备方法 [P].

赵立波 ;

李支康 ;

蒋庄德 ;

叶志英 ;

王久洪 ;

王苑 ;

赵玉龙 ;

苑国英 .

中国专利 :CN103196613B ,2013-07-10

[5]

一种基于CMUT的温度传感器及其制备方法与应用方法 [P].

赵立波 ;

叶志英 ;

李支康 ;

蒋庄德 ;

王久洪 ;

赵玉龙 ;

王苑 .

中国专利 :CN103196577B ,2013-07-10

[6]

一种具有高K绝缘层增强结构的CMUT及其工艺 [P].

牟笑静 ;

张汪洋 ;

贾皓良 ;

刘涛 .

中国专利 :CN118771300A ,2024-10-15

[7]

一种基于CMUT的温度传感器及制备和应用方法 [P].

蒋庄德 ;

李支康 ;

赵立波 ;

叶志英 ;

王久洪 ;

王苑 ;

赵玉龙 ;

苑国英 .

中国专利 :CN103217228B ,2013-07-24

[8]

一种用于痕量生化物质检测的CMUT及其制备方法 [P].

赵立波 ;

李支康 ;

蒋庄德 ;

郭鑫 ;

张桂铭 ;

黄恩泽 ;

赵玉龙 ;

苑国英 .

中国专利 :CN102520147A ,2012-06-27

[9]

一种基于CMUT 的超低量程压力传感器及其制备方法 [P].

蒋庄德 ;

李支康 ;

赵立波 ;

赵玉龙 ;

苑国英 .

中国专利 :CN102620864A ,2012-08-01

[10]

气体传感器的制备方法及气体传感器 [P].

卢红亮 ;

陈丁波 .

中国专利 :CN112713183B ,2021-04-27

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