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一种芯片平整度检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020795379.0
申请日：
2020-05-14
公开(公告)号：
CN212082336U
公开(公告)日：
2020-12-04
发明(设计)人：
杨平文
申请人：
申请人地址：
430070 湖北省武汉市洪山区文化大道555号融科智谷A3-5栋-3F-14
IPC主分类号：
G01B2130
IPC分类号：
代理机构：
北京艾皮专利代理有限公司 11777
代理人：
马小辉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-04 | 授权 | 授权 |