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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-02 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 4/129 申请公布日:20201127 |
| 2020-11-27 | 公开 | 公开 |
| 2020-12-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 4/129 申请日:20200828 |