真空镀膜装置

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专利类型
发明
申请号
CN200910309766.7
申请日
2009-11-16
公开(公告)号
CN102061449B
公开(公告)日
2011-05-18
发明(设计)人
王仲培
申请人
申请人地址
518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
IPC主分类号
C23C1434
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
真空镀膜装置及其真空镀膜方法 [P]. 
熊丹 .
中国专利 :CN104120399A ,2014-10-29
[2]
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张杰 ;
李标章 ;
黄裕祥 .
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[3]
真空镀膜装置 [P]. 
徐文涛 ;
陈晨 ;
李王俊 ;
孙健 ;
周剑 ;
刘亚南 .
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[4]
真空镀膜装置 [P]. 
程宗文 .
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[5]
真空镀膜装置 [P]. 
王洪学 ;
魏江江 ;
尹晓芳 ;
王子墨 .
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[6]
真空镀膜装置 [P]. 
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[7]
真空镀膜装置 [P]. 
王昆 .
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[8]
真空镀膜装置 [P]. 
黎微明 ;
左敏 ;
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[9]
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陈自新 ;
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[10]
真空镀膜装置 [P]. 
赵芳 ;
任海 ;
魏锋 .
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