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热处理装置的控制方法和热处理装置的控制装置

被引：0
申请号：
CN202210846835.3
申请日：
2022-07-19
公开(公告)号：
CN115692196A
公开(公告)日：
2023-02-03
发明(设计)人：
木下盛善
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21324
IPC分类号：
H01L21477 H01L2166 H01L2167 H01L21677 H01L23544
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
龙淳;池兵
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2023-02-03 公开 公开
共 50 条
[1]
流体控制装置和热处理装置 [P]. 
冈部庸之 ;
大仓成幸 .
中国专利 :CN100407373C ,2005-02-23
[2]
流体控制装置和热处理装置 [P]. 
冈部庸之 ;
大仓成幸 .
中国专利 :CN2674647Y ,2005-01-26
[3]
热处理装置、热处理系统及热处理装置的温度控制方法 [P]. 
村上诚志 ;
堀込正弘 ;
河西繁 .
中国专利 :CN1542927A ,2004-11-03
[4]
热处理装置及其控制方法 [P]. 
吉井弘治 ;
山口达也 ;
王文凌 ;
斋藤孝规 .
中国专利 :CN102655104A ,2012-09-05
[5]
温度控制方法、温度控制装置、热处理装置及热处理方法 [P]. 
田中政仁 ;
南野郁夫 ;
高石明 .
中国专利 :CN100498622C ,2007-06-06
[6]
基板热处理装置及基板热处理装置的温度控制方法 [P]. 
金泰叶 ;
朴城范 ;
宋雄起 ;
蔡熙周 ;
崔德华 .
韩国专利 :CN118299287A ,2024-07-05
[7]
热处理装置和热处理方法 [P]. 
水永耕市 ;
大岛和彦 ;
高木康弘 .
中国专利 :CN102446801B ,2012-05-09
[8]
热处理装置和热处理方法 [P]. 
川上真一路 ;
佐野要平 ;
鬼塚智也 .
日本专利 :CN115280470B ,2025-03-18
[9]
热处理方法和热处理装置 [P]. 
A·雷纳茨 .
中国专利 :CN108884508B ,2018-11-23
[10]
热处理方法和热处理装置 [P]. 
铃木启介 ;
王文凌 ;
米川司 ;
池内俊之 ;
佐藤享 .
中国专利 :CN1669127A ,2005-09-14
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