一种多晶硅生产过程中尾气杂质过滤的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201410856902.5
申请日
2014-12-31
公开(公告)号
CN104524904A
公开(公告)日
2015-04-22
发明(设计)人
石程亮 姜海明 李辉
申请人
申请人地址
010070 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区阿木尔南街88号
IPC主分类号
B01D4706
IPC分类号
B01D4705 B01D6100 B01D3600
代理机构
呼和浩特北方科力专利代理有限公司 15100
代理人
王社
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种多晶硅生产过程中的尾气回收工艺 [P]. 
张伟 ;
银波 ;
张吉武 ;
陈朝霞 ;
黄彬 .
中国专利 :CN105565323B ,2016-05-11
[2]
多晶硅生产过程中的尾气处理方法及系统 [P]. 
张伟 ;
王惠 ;
宋高杰 ;
陈朝霞 ;
相文强 ;
赵阳 ;
董越杰 ;
王强 .
中国专利 :CN109678158A ,2019-04-26
[3]
多晶硅生产过程中热量利用的装置及方法 [P]. 
齐林喜 ;
赵亮 .
中国专利 :CN102786055A ,2012-11-21
[4]
多晶硅生产过程中废气的回收方法 [P]. 
侯雨 ;
王惠 ;
宋高杰 ;
相文强 ;
董越杰 ;
赵阳 .
中国专利 :CN111036029A ,2020-04-21
[5]
多晶硅生产过程中余热利用的方法 [P]. 
朱国平 ;
潘和平 .
中国专利 :CN102020276B ,2011-04-20
[6]
一种多晶硅生产过程中氢气的回收系统 [P]. 
邹飞 ;
陈喜清 ;
张旭 ;
王玉丽 ;
张治锦 ;
郑宝刚 ;
黎远中 .
中国专利 :CN106829863B ,2017-06-13
[7]
多晶硅生产过程中热量利用的装置 [P]. 
齐林喜 ;
赵亮 .
中国专利 :CN202785676U ,2013-03-13
[8]
多晶硅生产过程中余热利用的装置 [P]. 
朱国平 ;
潘和平 .
中国专利 :CN201488568U ,2010-05-26
[9]
多晶硅生产过程中的氯硅烷除硼系统 [P]. 
汪应军 ;
詹迎春 .
中国专利 :CN202246099U ,2012-05-30
[10]
多晶硅生产过程中含硅碱性废水的处理方法 [P]. 
侯刚 ;
周文帅 ;
杜娜 ;
涂夏明 ;
王绍祖 ;
姜静 .
中国专利 :CN104649483A ,2015-05-27