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一种静电吸附电极和静电吸附装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110118646.X
申请日：
2021-01-28
公开(公告)号：
CN112936316B
公开(公告)日：
2021-06-11
发明(设计)人：
王宏强
朱人杰
毛建军
魏岱岳
申请人：
申请人地址：
518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
IPC主分类号：
B25J1500
IPC分类号：
代理机构：
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人：
张建珍
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-02 | 授权 | 授权 |
| 2021-06-11 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B25J 15/00 申请日:20210128 |