静电吸附电极、基板处理装置和静电吸附电极的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610087905.2

申请日：

2006-06-06

公开(公告)号：

CN1897243A

公开(公告)日：

2007-01-17

发明(设计)人：

林圣

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-07-30	授权	授权
2013-07-31	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101502140639 IPC(主分类):H01L 21/683 专利号:ZL2006100879052 申请日:20060606 授权公告日:20080730 终止日期:20120606
2007-03-14	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-01-17	公开	公开

共 50 条

[1]

静电吸附电极、基板处理装置和静电吸附电极的制造方法 [P].

佐佐木芳彦 ;

南雅人 .

中国专利 :CN101188207B ,2008-05-28

[2]

一种静电吸附电极和静电吸附装置 [P].

王宏强 ;

朱人杰 ;

毛建军 ;

魏岱岳 .

中国专利 :CN112936316B ,2021-06-11

[3]

静电吸附电极及其制造方法和基板处理装置 [P].

佐佐木芳彦 ;

南雅人 ;

古屋敦城 .

中国专利 :CN101901778A ,2010-12-01

[4]

静电吸附电极和处理装置 [P].

林圣 ;

南雅人 .

中国专利 :CN1870242A ,2006-11-29

[5]

静电卡盘装置和静电吸附方法 [P].

松崎荣 .

中国专利 :CN108242421B ,2018-07-03

[6]

静电吸附电极的修补方法 [P].

佐佐木芳彦 ;

里吉务 .

中国专利 :CN101625954A ,2010-01-13

[7]

静电吸附电极的修补方法 [P].

佐佐木芳彦 ;

里吉务 .

中国专利 :CN101110384A ,2008-01-23

[8]

伸缩电极式静电吸附装置 [P].

王强 .

中国专利 :CN102284194A ,2011-12-21

[9]

等离子体处理装置和静电吸附方法 [P].

松山昇一郎 ;

田丸直树 ;

佐佐木康晴 .

中国专利 :CN108987233B ,2018-12-11

[10]

静电吸附装置的除电处理方法、基板处理装置 [P].

古屋敦城 ;

千野悟 .

中国专利 :CN101645395A ,2010-02-10

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