静电吸附电极的修补方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710136193.3

申请日：

2007-07-20

公开(公告)号：

CN101110384A

公开(公告)日：

2008-01-23

发明(设计)人：

佐佐木芳彦里吉务

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-01-23	公开	公开
2009-09-16	授权	授权
2008-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

静电吸附电极的修补方法 [P].

佐佐木芳彦 ;

里吉务 .

中国专利 :CN101625954A ,2010-01-13

[2]

静电吸附电极、基板处理装置和静电吸附电极的制造方法 [P].

林圣 .

中国专利 :CN1897243A ,2007-01-17

[3]

静电吸附电极、基板处理装置和静电吸附电极的制造方法 [P].

佐佐木芳彦 ;

南雅人 .

中国专利 :CN101188207B ,2008-05-28

[4]

一种静电吸附电极和静电吸附装置 [P].

王宏强 ;

朱人杰 ;

毛建军 ;

魏岱岳 .

中国专利 :CN112936316B ,2021-06-11

[5]

静电吸附电极和处理装置 [P].

林圣 ;

南雅人 .

中国专利 :CN1870242A ,2006-11-29

[6]

伸缩电极式静电吸附装置 [P].

王强 .

中国专利 :CN102284194A ,2011-12-21

[7]

静电吸附方法 [P].

平井克典 ;

佐佐木康晴 .

中国专利 :CN109148349A ,2019-01-04

[8]

静电吸附设备以及静电吸附方法 [P].

齐藤滋规 ;

凌智宽 ;

田冈祐树 ;

许三川 .

日本专利 :CN117837075A ,2024-04-05

[9]

静电吸附电极及其制造方法和基板处理装置 [P].

佐佐木芳彦 ;

南雅人 ;

古屋敦城 .

中国专利 :CN101901778A ,2010-12-01

[10]

使用静电吸附的搬运装置和使用静电吸附的搬运方法 [P].

久野裕彦 .

中国专利 :CN110127379A ,2019-08-16

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