静电吸附电极及其制造方法和基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010185980.9

申请日：

2010-05-27

公开(公告)号：

CN101901778A

公开(公告)日：

2010-12-01

发明(设计)人：

佐佐木芳彦南雅人古屋敦城

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2100

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;陈立航

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-08-08	授权	授权
2011-01-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101030689462 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2010101859809 申请日:20100527
2010-12-01	公开	公开

共 50 条

[1]

静电吸附电极、基板处理装置和静电吸附电极的制造方法 [P].

林圣 .

中国专利 :CN1897243A ,2007-01-17

[2]

静电吸附电极、基板处理装置和静电吸附电极的制造方法 [P].

佐佐木芳彦 ;

南雅人 .

中国专利 :CN101188207B ,2008-05-28

[3]

静电吸附电极和处理装置 [P].

林圣 ;

南雅人 .

中国专利 :CN1870242A ,2006-11-29

[4]

基板载置台及其制造方法和基板处理装置 [P].

南雅人 ;

奥山幸一 .

中国专利 :CN102157423B ,2011-08-17

[5]

静电卡盘和其制造方法以及基板处理装置 [P].

李济熙 ;

李相起 .

韩国专利 :CN113707591B ,2024-11-29

[6]

静电卡盘和其制造方法以及基板处理装置 [P].

李济熙 ;

李相起 .

中国专利 :CN113707591A ,2021-11-26

[7]

静电吸附装置的除电处理方法、基板处理装置 [P].

古屋敦城 ;

千野悟 .

中国专利 :CN101645395A ,2010-02-10

[8]

静电夹盘、玻璃基板处理方法及其玻璃基板 [P].

辰巳良昭 ;

菅原利文 .

中国专利 :CN104854692B ,2015-08-19

[9]

基板冷却系统、基板处理装置、静电吸盘及基板冷却方法 [P].

古屋敦城 .

中国专利 :CN103107119B ,2013-05-15

[10]

基板处理方法、基板制造方法和基板处理装置 [P].

金俙焕 ;

李福圭 ;

李暎熏 .

韩国专利 :CN119446892A ,2025-02-14

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