基板载置台及其制造方法和基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010576264.3

申请日：

2010-12-01

公开(公告)号：

CN102157423B

公开(公告)日：

2011-08-17

发明(设计)人：

南雅人奥山幸一

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2100 H01J3732 C23C16458

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-17	公开	公开
2013-08-28	授权	授权
2011-09-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101113916272 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2010105762643 申请日:20101201

共 50 条

[1]

基板载置台、基板处理装置和基板载置台的制造方法 [P].

林圣 ;

里吉务 .

中国专利 :CN100411133C ,2006-12-20

[2]

基板载置台和基板处理装置 [P].

佐佐木芳彦 ;

南雅人 ;

佐佐木和男 .

中国专利 :CN107086200A ,2017-08-22

[3]

基板载置台、基板处理装置以及基板载置台的制造方法 [P].

佐佐木芳彦 ;

佐佐木和男 ;

齐藤均 .

日本专利 :CN120719270A ,2025-09-30

[4]

基板处理装置和基板载置台 [P].

山下润 .

中国专利 :CN102160166A ,2011-08-17

[5]

基板载置台和基板处理装置 [P].

天野健次 ;

田中善嗣 .

中国专利 :CN101047143A ,2007-10-03

[6]

基板载置台和基板处理装置 [P].

天野健次 ;

田中善嗣 .

中国专利 :CN101707186B ,2010-05-12

[7]

基板载置台和基板处理装置 [P].

佐佐木芳彦 ;

南雅人 .

中国专利 :CN107026102B ,2017-08-08

[8]

基板载置台和基板处理装置 [P].

佐佐木芳彦 ;

南雅人 ;

齐藤英树 ;

神户乔史 .

中国专利 :CN110581087A ,2019-12-17

[9]

基板载置台和基板处理装置 [P].

古屋敦城 ;

佐佐木芳彦 .

中国专利 :CN103824800A ,2014-05-28

[10]

基板载置台、基板处理装置以及基板处理方法 [P].

佐佐木芳彦 ;

町山弥 ;

南雅人 .

中国专利 :CN111146134A ,2020-05-12

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