基板处理方法、基板制造方法和基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410916262.6

申请日：

2024-07-09

公开(公告)号：

CN119446892A

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

金俙焕李福圭李暎熏

申请人：

细美事有限公司

申请人地址：

韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号

IPC主分类号：

H01L21/02

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

张瑾

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-14	公开	公开

共 50 条

[1]

基板处理装置、基板处理方法、基板制造装置及基板制造方法 [P].

今冈裕一 ;

矶明典 .

中国专利 :CN105185726A ,2015-12-23

[2]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

方炳善 ;

郑富荣 ;

崔重奉 ;

金奉主 ;

李映一 ;

宋吉勋 ;

朴贵秀 ;

金光烈 ;

李广燮 ;

柳镇泽 .

中国专利 :CN108962743A ,2018-12-07

[3]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

崔基熏 ;

吴世勋 ;

郑映大 ;

金泰熙 ;

全瑛恩 .

中国专利 :CN115458437A ,2022-12-09

[4]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

姜亨奭 ;

元俊皓 ;

A·科里阿金 ;

金旻佑 ;

李根洙 ;

吴承彦 ;

金希锡 .

韩国专利 :CN120221389A ,2025-06-27

[5]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

朴素永 ;

金俙焕 .

中国专利 :CN107665842A ,2018-02-06

[6]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

金俙焕 ;

李瑟 .

中国专利 :CN107785290A ,2018-03-09

[7]

基板处理方法、基板处理装置和物品制造方法 [P].

小向启文 .

日本专利 :CN120891709A ,2025-11-04

[8]

基板处理装置、基板处理方法和基板处理程序 [P].

大塚庆崇 ;

中满孝志 .

中国专利 :CN1828828A ,2006-09-06

[9]

基板处理设备和基板处理方法 [P].

沈秉禹 ;

李福圭 .

韩国专利 :CN119108306A ,2024-12-10

[10]

基板处理装置、基板处理方法以及基板的制造方法 [P].

森口善弘 ;

釜石孝生 .

中国专利 :CN1975983A ,2007-06-06

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