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金属围坝的曝光显影方法及金属围坝和陶瓷基板
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110337255.7
申请日：
2021-03-30
公开(公告)号：
CN113192845A
公开(公告)日：
2021-07-30
发明(设计)人：
王军
陈文阳
于正国
申请人：
申请人地址：
244000 安徽省铜陵市铜陵经济技术开发区天门山北道3129号
IPC主分类号：
H01L2148
IPC分类号：
H01L2313
H01L2315
G03F720
代理机构：
铜陵市嘉同知识产权代理事务所(普通合伙) 34186
代理人：
吴晨亮
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-30 | 公开 | 公开 |
| 2021-08-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/48 申请日:20210330 |