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一种改进型半导体晶片真空夹持吸盘
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200910181811.5
申请日：
2009-07-29
公开(公告)号：
CN101635268B
公开(公告)日：
2010-01-27
发明(设计)人：
田军
顾荣军
朱祥龙
申请人：
申请人地址：
214061 江苏省无锡市滨湖区湖滨路11号
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
B25J1506
代理机构：
无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227
代理人：
顾吉云
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-08-10 | 授权 | 授权 |
| 2010-04-28 | 著录事项变更 | 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101001298212 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2009101818115 变更事项:发明人 变更前:朱祥龙 变更后:田军;顾荣军;朱祥龙 |
| 2016-09-21 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 授权公告日:20110810 终止日期:20150729 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101679137838 IPC(主分类):H01L 21/683 专利号:ZL2009101818115 申请日:20090729 |
| 2011-05-04 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101083931619 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2009101818115 变更事项:申请人 变更前权利人:无锡机床股份有限公司 变更后权利人:无锡机床股份有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:214061 江苏省无锡市滨湖区湖滨路11号 变更后权利人:214061 江苏省无锡市滨湖区湖滨路11号 变更事项:共同申请人 变更前权利人:无 变更后权利人:大连理工大学 登记生效日:20110325 |
| 2010-03-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2010-01-27 | 公开 | 公开 |