多蒸发源镀膜装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620672941.4

申请日：

2016-06-30

公开(公告)号：

CN205774776U

公开(公告)日：

2016-12-07

发明(设计)人：

李刚正龙汝磊吴萍

申请人：

申请人地址：

200444 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1454

代理机构：

上海申蒙商标专利代理有限公司 31214

代理人：

徐小蓉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-07	授权	授权

共 50 条

[1]

多蒸发源镀膜装置及其镀膜方法 [P].

李刚正 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN105887020A ,2016-08-24

[2]

一种多蒸发源镀膜装置 [P].

龙汝磊 ;

戴秀海 ;

薛聪颖 ;

赵小花 .

中国专利 :CN207243983U ,2018-04-17

[3]

镀膜装置与其蒸发源装置,及其蒸发源容器 [P].

松浦宏育 ;

土井秀明 ;

加藤升 ;

韭泽信广 .

中国专利 :CN101949002A ,2011-01-19

[4]

蒸发源装置以及溅射镀膜设备 [P].

徐旻生 ;

庄炳河 ;

龚文志 ;

李永杰 ;

张亮 ;

唐宇霖 ;

张永胜 ;

满小花 .

中国专利 :CN207608619U ,2018-07-13

[5]

蒸发源装置及蒸发镀膜设备 [P].

李建 .

中国专利 :CN206438173U ,2017-08-25

[6]

采用扫描式蒸发源的镀膜装置 [P].

林为平 ;

范滨 ;

张洪 .

中国专利 :CN205556763U ,2016-09-07

[7]

蒸发源及蒸发镀膜设备 [P].

臧世伟 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223201897U ,2025-08-08

[8]

蒸发源及蒸发镀膜设备 [P].

臧世伟 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223201898U ,2025-08-08

[9]

蒸发源可移动多功能镀膜装置 [P].

林权昌 ;

黄慧 ;

沈惠娟 ;

王松 .

中国专利 :CN201459231U ,2010-05-12

[10]

蒸发源和真空镀膜系统 [P].

孔德兴 .

中国专利 :CN206872929U ,2018-01-12

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