纳米微结构的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710476065.7

申请日：

2017-06-21

公开(公告)号：

CN109103101B

公开(公告)日：

2018-12-28

发明(设计)人：

陈墨张立辉李群庆范守善

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

H01L2906 B82Y4000

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-28	公开	公开
2020-09-29	授权	授权
2019-01-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20170621

共 50 条

[1]

具有纳米微结构基板的制备方法 [P].

魏洋 ;

范守善 .

中国专利 :CN102723264B ,2012-10-10

[2]

具有纳米微结构基板的制备方法 [P].

魏洋 ;

范守善 .

中国专利 :CN102719888A ,2012-10-10

[3]

纳米级微结构的制备方法 [P].

刘军库 ;

任梦昕 ;

张立辉 ;

陈墨 ;

李群庆 ;

范守善 .

中国专利 :CN104217928B ,2014-12-17

[4]

纳米微结构的制造方法 [P].

李昇儒 .

中国专利 :CN102456547A ,2012-05-16

[5]

碳纳米管微结构的制备方法 [P].

张亚非 ;

侯中宇 ;

徐东 ;

蔡炳初 ;

魏星 .

中国专利 :CN100395171C ,2005-12-21

[6]

贵金属纳米微结构体光栅的制备方法 [P].

曲士良 ;

曾惠丹 ;

赵崇军 ;

邱建荣 ;

朱从善 .

中国专利 :CN1448733A ,2003-10-15

[7]

纳米微结构的制作方法 [P].

杨勇 .

中国专利 :CN106115610A ,2016-11-16

[8]

纳米微结构超长导光板的制备工艺 [P].

林浩岚 .

中国专利 :CN107839183A ,2018-03-27

[9]

一种纳米级微结构的制备方法 [P].

金元浩 ;

李群庆 ;

范守善 .

中国专利 :CN105336566B ,2016-02-17

[10]

高增透表面微结构的制备方法及制备的微结构 [P].

曾秀芳 .

中国专利 :CN107219722A ,2017-09-29

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