具有纳米微结构基板的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110076887.9

申请日：

2011-03-29

公开(公告)号：

CN102723264B

公开(公告)日：

2012-10-10

发明(设计)人：

魏洋范守善

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室

IPC主分类号：

H01L21027

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法律状态：

实质审查的生效

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-12-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101359121400 IPC(主分类):H01L 21/027 专利申请号:2011100768879 申请日:20110329
2015-08-26	授权	授权
2012-10-10	公开	公开

共 50 条

[1]

具有纳米微结构基板的制备方法 [P].

魏洋 ;

范守善 .

中国专利 :CN102719888A ,2012-10-10

[2]

纳米微结构的制备方法 [P].

陈墨 ;

张立辉 ;

李群庆 ;

范守善 .

中国专利 :CN109103101B ,2018-12-28

[3]

纳米微结构的制造方法 [P].

李昇儒 .

中国专利 :CN102456547A ,2012-05-16

[4]

碳纳米管微结构的制备方法 [P].

张亚非 ;

侯中宇 ;

徐东 ;

蔡炳初 ;

魏星 .

中国专利 :CN100395171C ,2005-12-21

[5]

贵金属纳米微结构体光栅的制备方法 [P].

曲士良 ;

曾惠丹 ;

赵崇军 ;

邱建荣 ;

朱从善 .

中国专利 :CN1448733A ,2003-10-15

[6]

纳米微结构的制作方法 [P].

杨勇 .

中国专利 :CN106115610A ,2016-11-16

[7]

具有纳米微结构的筛滤装置及其系统 [P].

萧玮成 ;

萧伽真 .

中国专利 :CN207085481U ,2018-03-13

[8]

纳米微结构超长导光板的制备工艺 [P].

林浩岚 .

中国专利 :CN107839183A ,2018-03-27

[9]

一种纳米级微结构的制备方法 [P].

金元浩 ;

李群庆 ;

范守善 .

中国专利 :CN104681418A ,2015-06-03

[10]

一种纳米级微结构的制备方法 [P].

金元浩 ;

李群庆 ;

范守善 .

中国专利 :CN105336566B ,2016-02-17

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