电磁力并联驱动式平面三自由度精密微动台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610076247.7

申请日：

2006-04-21

公开(公告)号：

CN1838330B

公开(公告)日：

2006-09-27

发明(设计)人：

汪劲松朱煜曹家勇尹文生段广洪杨一博

申请人：

申请人地址：

100084 北京市100084-82信箱

IPC主分类号：

G12B500

IPC分类号：

G12B910 B25H100

代理机构：

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法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-06-29	授权	授权
2006-09-27	公开	公开
2006-11-22	实质审查的生效	实质审查的生效
2015-12-02	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101724515086 IPC(主分类):G12B 5/00 专利号:ZL2006100762477 登记生效日:20151112 变更事项:专利权人变更前权利人:清华大学变更后权利人:清华大学变更事项:地址变更前权利人:100084 北京市100084-82信箱变更后权利人:100084 北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室变更事项:专利权人变更前权利人:无变更后权利人:北京华卓精科科技股份有限公司

共 50 条

[1]

大行程平面三自由度精密微动装置 [P].

李威 ;

杨雪锋 ;

王禹桥 ;

叶果 .

中国专利 :CN201335912Y ,2009-10-28

[2]

结构对称型平面三自由度并联微动平台 [P].

张彦斐 ;

宫金良 ;

裴童 .

中国专利 :CN103586863B ,2014-02-19

[3]

平面三自由度并联机构 [P].

彭斌彬 ;

祝帅 ;

胡建宇 ;

封金徽 .

中国专利 :CN103895006B ,2014-07-02

[4]

平面三自由度压电驱动平台 [P].

张泉 ;

章洪轩 ;

季瑞南 ;

金家楣 ;

王亮 .

中国专利 :CN204099842U ,2015-01-14

[5]

三自由度电磁驱动混合装置 [P].

张哲 ;

马宁 ;

孙晓朋 ;

商砚冰 ;

秦能 ;

谢中元 ;

陈松 .

中国专利 :CN111249960A ,2020-06-09

[6]

大行程平面三自由度精密微动装置及其控制方法 [P].

李威 ;

杨雪锋 ;

王禹桥 ;

叶果 .

中国专利 :CN101441319B ,2009-05-27

[7]

用于晶圆精密定位的三自由度平面柔性机构及微动台 [P].

袁黎明 ;

陈思鲁 ;

钱晨 ;

张驰 ;

张杰 ;

杨桂林 ;

方灶军 .

中国专利 :CN118507413A ,2024-08-16

[8]

用于晶圆精密定位的三自由度平面柔性机构及微动台 [P].

袁黎明 ;

陈思鲁 ;

钱晨 ;

张驰 ;

张杰 ;

杨桂林 ;

方灶军 .

中国专利 :CN118507413B ,2024-11-19

[9]

单层平面三自由度调整滑台 [P].

陈力 ;

钱刚祥 .

中国专利 :CN201979300U ,2011-09-21

[10]

一种平面三自由度精密定位平台 [P].

张宪民 ;

王华 ;

欧阳高飞 ;

邓俊广 ;

卢盛林 .

中国专利 :CN2758935Y ,2006-02-15

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