一种便于输送的晶圆片分选机

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专利类型
实用新型
申请号
CN201820314319.5
申请日
2018-03-07
公开(公告)号
CN207852630U
公开(公告)日
2018-09-11
发明(设计)人
张栖源
申请人
申请人地址
335400 江西省鹰潭市贵溪市经济开发区创新创业园9栋
IPC主分类号
H01L2167
IPC分类号
H01L21677
代理机构
北京久维律师事务所 11582
代理人
邢江峰
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种便于输送的晶圆分选机 [P]. 
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[3]
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张亚坤 ;
李子轩 ;
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付廷喜 ;
付玉磊 .
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[9]
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