一种旋转工作台及晶圆减薄机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510944528.9

申请日：

2015-12-16

公开(公告)号：

CN105538147A

公开(公告)日：

2016-05-04

发明(设计)人：

贺东葛杨生荣张文斌刘宇光白阳

申请人：

申请人地址：

100176 北京市经济技术开发区泰河三街1号楼310室

IPC主分类号：

B24B4102

IPC分类号：

B24B722

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;安利霞

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-04	公开	公开
2016-06-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101662909397 IPC(主分类):B24B 41/02 专利申请号:2015109445289 申请日:20151216
2018-12-14	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B24B 41/02 申请公布日:20160504

共 50 条

[1]

一种工作台及晶圆减薄机 [P].

林世权 ;

卓柳福 ;

刘全益 ;

胡敬祥 .

中国专利 :CN115771077B ,2025-06-17

[2]

一种回转工作台装置及晶圆减薄机 [P].

衣忠波 ;

赵岁花 ;

高岳 ;

刘国敬 ;

张敏杰 .

中国专利 :CN105514015A ,2016-04-20

[3]

半导体晶圆气动旋转工作台 [P].

潘相成 ;

陈虹 .

中国专利 :CN213026095U ,2021-04-20

[4]

旋转工作台 [P].

都正洲 .

中国专利 :CN210307290U ,2020-04-14

[5]

旋转工作台 [P].

张红 .

中国专利 :CN202668082U ,2013-01-16

[6]

一种旋转工作台 [P].

刘全建 ;

李陆军 ;

管晓峰 ;

王玉忠 ;

吴豫 ;

楚岩 ;

孙才华 ;

闫可为 ;

李智峰 .

中国专利 :CN207841780U ,2018-09-11

[7]

一种旋转工作台 [P].

范勤德 ;

王道强 .

中国专利 :CN217943251U ,2022-12-02

[8]

一种旋转工作台 [P].

杨乃宁 ;

刘淑芬 ;

刘大伟 ;

王岩峰 ;

刘鑫 ;

曹亚男 .

中国专利 :CN211867719U ,2020-11-06

[9]

一种旋转工作台 [P].

植建超 .

中国专利 :CN207771769U ,2018-08-28

[10]

一种旋转工作台 [P].

邓月江 ;

杜秋晨 .

中国专利 :CN203887534U ,2014-10-22

← 1 2 3 4 5 →