一种纳米级图形化衬底及其制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201711011477.X
申请日
2017-10-26
公开(公告)号
CN107863428A
公开(公告)日
2018-03-30
发明(设计)人
王晓东 段瑞飞 王军喜 曾一平 付强
申请人
申请人地址
100176 北京市经济技术开发区经海五路58号院5号楼7层708室
IPC主分类号
H01L3320
IPC分类号
H01L3300
代理机构
北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390
代理人
胡剑辉
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种图形化衬底及其制作方法 [P]. 
王瑜 ;
董金矿 ;
丁祥 ;
陈志豪 ;
周宏敏 ;
李政鸿 ;
林兓兓 .
中国专利 :CN115642213A ,2023-01-24
[2]
一种纳米图形化衬底及其制作方法 [P]. 
徐广源 ;
崔志强 ;
贾晓龙 ;
孟锡俊 ;
蒋国文 .
中国专利 :CN112687778A ,2021-04-20
[3]
图形化蓝宝石衬底及其制作方法、外延片的制作方法 [P]. 
桂宇畅 ;
张建宝 .
中国专利 :CN103887390A ,2014-06-25
[4]
一种纳米级图形化衬底的制造方法 [P]. 
毕少强 .
中国专利 :CN102983235B ,2013-03-20
[5]
一种纳米级图形化衬底的制造方法 [P]. 
毕少强 .
中国专利 :CN103066170A ,2013-04-24
[6]
一种纳米级图形化衬底的制造方法 [P]. 
毕少强 .
中国专利 :CN103035788A ,2013-04-10
[7]
一种纳米级图形化衬底的制造方法 [P]. 
毕少强 .
中国专利 :CN102945900B ,2013-02-27
[8]
一种纳米级图形化衬底的制造方法 [P]. 
毕少强 .
中国专利 :CN103022281B ,2013-04-03
[9]
图形化衬底及其制备方法、外延片制作方法及外延片 [P]. 
桂宇畅 ;
张建宝 .
中国专利 :CN104332541A ,2015-02-04
[10]
图形化衬底及其制备方法、外延片制作方法及外延片 [P]. 
桂宇畅 ;
张建宝 .
中国专利 :CN104319329A ,2015-01-28