一种纳米级图形化衬底的制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN201210563911.6
申请日
2012-12-21
公开(公告)号
CN103066170A
公开(公告)日
2013-04-24
发明(设计)人
毕少强
申请人
申请人地址
201306 上海市浦东新区临港产业区鸿音路1889号
IPC主分类号
H01L3300
IPC分类号
B82Y4000
代理机构
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人
郑玮
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种纳米级图形化衬底的制造方法 [P]. 
毕少强 .
中国专利 :CN103022281B ,2013-04-03
[2]
一种纳米级图形化衬底的制造方法 [P]. 
毕少强 .
中国专利 :CN102983235B ,2013-03-20
[3]
一种纳米级图形化衬底的制造方法 [P]. 
毕少强 .
中国专利 :CN102945900B ,2013-02-27
[4]
一种纳米级图形化衬底的制造方法 [P]. 
毕少强 .
中国专利 :CN103035788A ,2013-04-10
[5]
一种纳米级图形化衬底及其制作方法 [P]. 
王晓东 ;
段瑞飞 ;
王军喜 ;
曾一平 ;
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中国专利 :CN107863428A ,2018-03-30
[6]
一种纳米图形化衬底 [P]. 
梁宗文 ;
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[7]
一种图形化衬底、掩膜版及图形化衬底的制造方法 [P]. 
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李东昇 ;
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江忠永 ;
张昊翔 ;
王洋 ;
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黄捷 ;
黄敬 .
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[8]
图形化衬底、LED外延结构及图形化衬底制造方法 [P]. 
不公告发明人 .
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[9]
一种图形化衬底及图形化衬底的加工方法 [P]. 
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[10]
用于氮化物外延生长的纳米级图形化衬底的制备方法 [P]. 
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