气体注入装置及并入气体注入装置的基板处理腔室

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480005224.X

申请日：

2014-01-14

公开(公告)号：

CN105431928A

公开(公告)日：

2016-03-23

发明(设计)人：

阿古斯·索菲安·查德拉卡利安吉特·戈什克里斯托弗·S·奥尔森乌梅什·M·科卡尔

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21324

IPC分类号：

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-23	公开	公开
2018-02-16	授权	授权
2016-04-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101656295567 IPC(主分类):H01L 21/324 专利申请号:201480005224X 申请日:20140114

共 50 条

[1]

气体注入装置及包括其的基板处理装置 [P].

李钟喆 ;

申宰哲 ;

郑珉和 ;

郑淑真 ;

崔釿奎 ;

李晶桓 .

中国专利 :CN108070845A ,2018-05-25

[2]

气体注入装置 [P].

张茂辉 ;

张伟 ;

曹峰 ;

贺羽 .

中国专利 :CN118712038B ,2025-09-23

[3]

气体注入装置 [P].

唐果 ;

张庆钊 .

中国专利 :CN100571886C ,2008-07-16

[4]

气体注入装置 [P].

河合俊宏 ;

谷山育志 ;

小宫宗一 ;

重田贵司 .

中国专利 :CN107924861B ,2018-04-17

[5]

气体注入装置 [P].

刘辉堂 .

中国专利 :CN1924418A ,2007-03-07

[6]

气体注入装置 [P].

张茂辉 ;

张伟 ;

曹峰 ;

贺羽 .

中国专利 :CN118712038A ,2024-09-27

[7]

气体注入装置的止逆阀与气体注入装置 [P].

吴昭昌 .

中国专利 :CN203718061U ,2014-07-16

[8]

气体示踪剂注入装置 [P].

陈威 ;

曹雅萍 ;

孙伟 ;

王运萍 ;

于燮佳 ;

胡静俐 ;

王丽华 .

中国专利 :CN2725524Y ,2005-09-14

[9]

气体示踪剂注入装置 [P].

屈滨莲 ;

许子轩 ;

张海燕 .

中国专利 :CN210622794U ,2020-05-26

[10]

电注入装置、电注入腔室及电注入设备 [P].

邹杨 .

中国专利 :CN218123351U ,2022-12-23

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