一种基于MEMS热线式技术的气体流量传感器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021380139.0

申请日：

2020-07-14

公开(公告)号：

CN212513174U

公开(公告)日：

2021-02-09

发明(设计)人：

胡华才李良

申请人：

申请人地址：

517000 广东省河源市高新技术开发区科七路南面兴业大道东边中艺实业工业园D栋三、四楼

IPC主分类号：

G01F1688

IPC分类号：

代理机构：

深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙) 44439

代理人：

何兵;饶盛添

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-09	授权	授权

共 50 条

[1]

基于MEMS的温差式气体流量传感器 [P].

熊金龙 ;

陆强 .

中国专利 :CN212903385U ,2021-04-06

[2]

一种基于MEMS气体流量传感器的流量检测模块 [P].

胡华才 ;

李良 .

中国专利 :CN212513175U ,2021-02-09

[3]

气体流量传感器 [P].

钟强 ;

赵豪 ;

刁海丰 ;

崔倩 ;

程驰 ;

孙晓雅 ;

徐传毅 .

中国专利 :CN206670696U ,2017-11-24

[4]

基于MEMS技术的差压流量传感器 [P].

王建国 ;

申亚琪 .

中国专利 :CN206818257U ,2017-12-29

[5]

基于MEMS热式流量芯片的气体流量传感器主控电路 [P].

雷世安 ;

何云琦 ;

谢立坚 ;

刘伟 .

中国专利 :CN215811050U ,2022-02-11

[6]

一种基于MEMS技术的热式流量传感器 [P].

龙军 ;

冶元菲 ;

关威 ;

陈君 ;

汪旭东 ;

付新菊 ;

魏延明 ;

张恒 ;

刘旭辉 ;

张良 .

中国专利 :CN104482971B ,2015-04-01

[7]

气体流量传感器芯片以及气体流量传感器 [P].

徐斌 ;

牛东 ;

刘治 ;

孙运峰 .

中国专利 :CN212409799U ,2021-01-26

[8]

气体流量传感器 [P].

朱兆焱 ;

叶勇勇 .

中国专利 :CN211576264U ,2020-09-25

[9]

一种悬浮式气体流量传感器 [P].

程鹏 ;

钟似信 ;

邹晓 .

中国专利 :CN223565046U ,2025-11-18

[10]

一种热式气体流量传感器 [P].

李江舟 ;

许建梅 .

中国专利 :CN220960190U ,2024-05-14

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