拼接式掩膜版及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910231370.9

申请日：

2019-03-26

公开(公告)号：

CN109856927A

公开(公告)日：

2019-06-07

发明(设计)人：

范元骏

申请人：

申请人地址：

201315 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

焦天雷

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-25	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20190607
2019-06-07	公开	公开
2019-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190326

共 50 条

[1]

掩膜版制作方法以及掩膜版 [P].

朱小研 ;

朱海彬 ;

黄华 ;

肖维康 .

中国专利 :CN108866478A ,2018-11-23

[2]

掩膜版及其制造方法、半导体器件的制造方法 [P].

程雷 ;

吴潇潇 .

中国专利 :CN113848678B ,2024-02-27

[3]

掩膜版及其制造方法、半导体器件的制造方法 [P].

程雷 ;

吴潇潇 .

中国专利 :CN113848678A ,2021-12-28

[4]

掩膜板、掩膜装置及其制造方法和掩膜制造设备 [P].

罗昶 ;

梁逸南 ;

吴海东 ;

吴建鹏 .

中国专利 :CN108977761B ,2018-12-11

[5]

光掩膜版及其制备方法 [P].

徐佳 ;

宋晓辉 ;

梁明晓 .

中国专利 :CN117850157B ,2024-09-17

[6]

光刻方法、掩膜版及其制备方法 [P].

梁晋楠 ;

唐文尧 ;

郭晓波 .

中国专利 :CN120491384A ,2025-08-15

[7]

成膜掩膜及其制造方法 [P].

工藤修二 ;

斋藤雄二 ;

水村通伸 .

中国专利 :CN105612271A ,2016-05-25

[8]

防静电掩膜版原材、防静电掩膜版及其制备方法 [P].

杜武兵 ;

吕振群 .

中国专利 :CN106842812A ,2017-06-13

[9]

掩膜板，掩膜板组件及其制造方法 [P].

刘月 .

中国专利 :CN112126893A ,2020-12-25

[10]

掩膜板及其制造方法和掩膜曝光方法 [P].

谢振宇 ;

林承武 ;

陈旭 ;

郭建 ;

刘翔 .

中国专利 :CN101840149B ,2010-09-22

← 1 2 3 4 5 →