一种原位生长Al等离激元纳米结构的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910097665.1

申请日：

2019-01-31

公开(公告)号：

CN109830568A

公开(公告)日：

2019-05-31

发明(设计)人：

黎大兵吴忧孙晓娟贾玉萍石芝铭

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市东南湖大路3888号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L310232 G02B500 B82Y4000

代理机构：

长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214

代理人：

张伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-31	公开	公开
2021-03-30	授权	授权
2019-06-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20190131

共 50 条

[1]

制造用于等离激元生物传感的等离激元纳米结构的两步方法 [P].

G·A·洛佩兹·穆尼奥斯 ;

A·雷多斯 ;

J·拉蒙·阿兹孔 .

:CN120883044A ,2025-10-31

[2]

一种原位生长Al等离激元提高AlGaN基PIN型探测器性能的方法 [P].

孙晓娟 ;

吴忧 ;

黎大兵 ;

石芝铭 ;

贾玉萍 .

中国专利 :CN109713083A ,2019-05-03

[3]

一种基于等离激元纳米结构的纳米颗粒捕获方法及装置 [P].

任亚涛 ;

冀禹昆 ;

高包海 ;

何明键 ;

齐宏 .

中国专利 :CN117723468A ,2024-03-19

[4]

一种基于等离激元纳米结构的偏振分束器 [P].

宋争勇 ;

王武 ;

柳清伙 .

中国专利 :CN107015376A ,2017-08-04

[5]

一种核-壳结构等离激元薄膜的制备方法 [P].

梁天 ;

张露萍 ;

陈涛 ;

高洁 ;

朱晓明 .

中国专利 :CN117826289A ,2024-04-05

[6]

一维单晶锗基石墨烯等离激元纳米结构的制备方法 [P].

陈珂 ;

常凯莉 ;

顾玉宗 ;

王红芹 .

中国专利 :CN113981533B ,2022-01-28

[7]

一种等离激元纳米结构的柔性单光子源器件及其制备方法 [P].

王志明 ;

吴错 ;

余鹏 ;

马翠苹 ;

林峰 ;

童鑫 .

中国专利 :CN111090137B ,2020-05-01

[8]

一种等离激元纳米超结构的通用组装方法 [P].

李剑锋 ;

杨晶亮 .

中国专利 :CN115016045A ,2022-09-06

[9]

一种基于等离激元纳米结构的可调谐随机激光阵列器件 [P].

张晓阳 ;

张彤 ;

李丰 ;

熊梦 .

中国专利 :CN107221833A ,2017-09-29

[10]

一种长工作距离的等离激元纳米光刻方法 [P].

王亮 ;

秦金 ;

罗慧雯 .

中国专利 :CN110308616A ,2019-10-08

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