一种长工作距离的等离激元纳米光刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910084730.7

申请日：

2019-01-29

公开(公告)号：

CN110308616A

公开(公告)日：

2019-10-08

发明(设计)人：

王亮秦金罗慧雯

申请人：

申请人地址：

230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

G03F720 G02B500 B82Y4000 B82Y1000 B81C9900 B32B3726

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

王洋;赵青朵

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-06	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):G03F 7/00 变更事项:发明人变更前:王亮秦金罗慧雯变更后:王亮蒋忠君罗慧雯
2019-11-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/00 申请日:20190129
2022-01-28	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/00 申请公布日:20191008
2019-10-08	公开	公开

共 50 条

[1]

一种表面等离激元成像光刻结构 [P].

石建平 ;

米佳佳 ;

张青 ;

张颖 ;

姚敏 .

中国专利 :CN203490456U ,2014-03-19

[2]

一种表面等离激元成像光刻结构 [P].

石建平 ;

米佳佳 ;

张青 ;

张颖 ;

姚敏 .

中国专利 :CN103499913A ,2014-01-08

[3]

无掩模等离激元直写光刻系统 [P].

王亮 ;

许凯 ;

郭松坡 .

中国专利 :CN112558429A ,2021-03-26

[4]

制造用于等离激元生物传感的等离激元纳米结构的两步方法 [P].

G·A·洛佩兹·穆尼奥斯 ;

A·雷多斯 ;

J·拉蒙·阿兹孔 .

:CN120883044A ,2025-10-31

[5]

一种表面等离激元开关 [P].

钟阳万 ;

李文浩 ;

吴亮 ;

王尉燃 ;

张仁金 ;

严世杰 ;

王锋 ;

钟志诚 .

中国专利 :CN120630525A ,2025-09-12

[6]

一种表面等离激元开关 [P].

钟阳万 ;

李文浩 ;

吴亮 ;

王尉燃 ;

张仁金 ;

严世杰 ;

王锋 ;

钟志诚 .

中国专利 :CN120630525B ,2025-10-17

[7]

基于表面等离激元的深紫外超分辨干涉光刻方法 [P].

罗先刚 ;

孔维杰 ;

陈赵玺 ;

王盛丁 ;

范鹏程 ;

王长涛 ;

赵泽宇 .

中国专利 :CN119805882A ,2025-04-11

[8]

等离激元光子源器件以及产生表面等离激元光子的方法 [P].

钟旭 ;

佘敏敏 ;

黄军伟 ;

宋赣祥 .

中国专利 :CN105406357A ,2016-03-16

[9]

一种原位生长Al等离激元纳米结构的方法 [P].

黎大兵 ;

吴忧 ;

孙晓娟 ;

贾玉萍 ;

石芝铭 .

中国专利 :CN109830568A ,2019-05-31

[10]

一种表面等离激元编码单元及表面等离激元编码芯片 [P].

杜乐娜 ;

董建杰 ;

刘前 .

中国专利 :CN109473125A ,2019-03-15

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