一种新型结构MEMS微热板

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910015681.1

申请日：

2019-01-08

公开(公告)号：

CN109775654A

公开(公告)日：

2019-05-21

发明(设计)人：

李欣宇李晓干林仕伟刘航

申请人：

申请人地址：

116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

G01N2700

代理机构：

大连理工大学专利中心 21200

代理人：

温福雪;梅洪玉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20190108
2019-05-21	公开	公开
2021-01-01	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):B81B 7/02 申请公布日:20190521

共 50 条

[1]

一种MEMS微热板 [P].

程鑫 ;

陈宇龙 ;

权敦航 ;

李以文 ;

王剑 ;

高一帆 .

中国专利 :CN207375750U ,2018-05-18

[2]

一种陶瓷悬梁式MEMS微热板 [P].

井华 ;

谷文 ;

陈红林 .

中国专利 :CN214360245U ,2021-10-08

[3]

一种新型悬膜式MEMS微热板 [P].

井华 ;

谷文 ;

陈红林 .

中国专利 :CN214114913U ,2021-09-03

[4]

MEMS微热板的制备方法及MEMS微热板 [P].

程鑫 ;

陈宇龙 ;

李明杰 .

中国专利 :CN114380269B ,2025-05-06

[5]

MEMS微热板的制备方法及MEMS微热板 [P].

程鑫 ;

陈宇龙 ;

李明杰 .

中国专利 :CN114380269A ,2022-04-22

[6]

一种MEMS微热板及其制造方法 [P].

程鑫 ;

陈宇龙 ;

权敦航 ;

李以文 ;

王剑 ;

高一帆 .

中国专利 :CN107381495A ,2017-11-24

[7]

一种陶瓷悬梁式MEMS微热板及其制造方法 [P].

井华 ;

谷文 ;

陈红林 .

中国专利 :CN112408311A ,2021-02-26

[8]

一种微热板及包括该微热板的MEMS气体传感器 [P].

古瑞琴 ;

王瑞铭 ;

高胜国 ;

王利利 ;

钟克创 ;

李彬 ;

张守超 .

中国专利 :CN212586286U ,2021-02-23

[9]

一种MEMS微热板及其制备方法 [P].

时浩 ;

李浩 ;

马文力 ;

董文俊 ;

李霖 ;

袁海霞 .

中国专利 :CN117401643B ,2024-10-11

[10]

一种MEMS微热板及其制备方法 [P].

时浩 ;

李浩 ;

马文力 ;

董文俊 ;

李霖 ;

袁海霞 .

中国专利 :CN117401643A ,2024-01-16

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