一种陶瓷悬梁式MEMS微热板

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022854959.5

申请日：

2020-12-02

公开(公告)号：

CN214360245U

公开(公告)日：

2021-10-08

发明(设计)人：

井华谷文陈红林

申请人：

申请人地址：

215168 江苏省苏州市吴中区旺吴路26号

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

H05B314 H05B318

代理机构：

常州品益专利代理事务所(普通合伙) 32401

代理人：

侯慧娜

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种陶瓷悬梁式MEMS微热板及其制造方法 [P].

井华 ;

谷文 ;

陈红林 .

中国专利 :CN112408311A ,2021-02-26

[2]

一种四悬梁MEMS阵列式陶瓷悬梁微热板 [P].

井华 ;

谷文 ;

陈红林 .

中国专利 :CN214114912U ,2021-09-03

[3]

一种两悬梁MEMS阵列式陶瓷悬梁微热板 [P].

井华 ;

谷文 ;

陈红林 .

中国专利 :CN214192568U ,2021-09-14

[4]

一种新型悬膜式MEMS微热板 [P].

井华 ;

谷文 ;

陈红林 .

中国专利 :CN214114913U ,2021-09-03

[5]

一种新型结构MEMS微热板 [P].

李欣宇 ;

李晓干 ;

林仕伟 ;

刘航 .

中国专利 :CN109775654A ,2019-05-21

[6]

一种MEMS硅基微热板 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN203998937U ,2014-12-10

[7]

一种基于MEMS技术的微热板 [P].

陈庆彩 ;

孙一凡 ;

呼宇坤 ;

黄华栋 ;

程静雯 ;

徐腾飞 ;

刘欢 .

中国专利 :CN223744925U ,2025-12-30

[8]

一种MEMS微热板 [P].

程鑫 ;

陈宇龙 ;

权敦航 ;

李以文 ;

王剑 ;

高一帆 .

中国专利 :CN207375750U ,2018-05-18

[9]

一种具有绝热沟槽的MEMS硅基微热板 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN204125161U ,2015-01-28

[10]

一种微热板及包括该微热板的MEMS气体传感器 [P].

古瑞琴 ;

王瑞铭 ;

高胜国 ;

王利利 ;

钟克创 ;

李彬 ;

张守超 .

中国专利 :CN212586286U ,2021-02-23

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